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產(chǎn)品概述
r該wct-120ts少子壽命測(cè)試儀展示了獨(dú)特的測(cè)量和分析技術(shù)。wct-120儀器分別采用由辛頓儀器變溫（溫度范圍從25到200??/span>C ）和準(zhǔn)穩(wěn)態(tài)光電導(dǎo)法得到硅片的載流子復(fù)合壽命。
rr
wct-120ts系統(tǒng)能力
r主要應(yīng)用：
r在一個(gè)溫度范圍內(nèi)測(cè)量硅片的少數(shù)載流子復(fù)合壽命。
r其它功能：
rr
溫度和注入相關(guān)的少子壽命的周期結(jié)果。
r應(yīng)用于：
r??初始材料（硅片）質(zhì)量監(jiān)控
r??晶圓（硅片）加工過(guò)程中重金屬污染的檢測(cè)
r??評(píng)價(jià)表面鈍化和發(fā)射極的摻雜劑擴(kuò)散
r??使用隱含的I-V測(cè)量評(píng)價(jià)過(guò)程中引入的漏電流
rr
上圖為溫度和注入相關(guān)的壽命測(cè)量結(jié)果r
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